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簡要描述：FMS-M系列迷你電動平移臺，采用音圈電機動定?、十字交叉滾柱導軌、光柵尺反饋系統(tǒng)。緊湊結構設計，占用空間小，響應快，整定時間短，適用于微動、高剛性、高精度、高平面度及直線度的運動場合。廣泛應用于各種精密和?速運動。
產品品牌：其他品牌廠商性質：經銷商更新時間：2024-05-30訪 問 量：914詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 電動 |
| 應用領域 | 綜合 |
FMS-M系列迷你電動平移臺
l行程覆蓋20mm
l緊湊結構設計，占用空間小
l摩擦低，精度高
l響應快，整定時間短
l免費標準版SDK
l高性能控制器
l可選配EtherCAT總線控制
產品簡介
FMS-M系列迷你電動平移臺：FMS-M系列迷你電動位移臺，采用音圈電機動定?、十字交叉滾柱導軌、光柵尺反饋系統(tǒng)。緊湊結構設計，占用空間小，響應快，整定時間短，適用于微動、高剛性、高精度、高平面度及直線度的運動場合。廣泛應用于各種精密和?速運動。
產品應用
l半導體
l生命科學
l光學設備
l工業(yè)設備
l高速掃描
l精密測量
性能實測
接線定義
電氣接口
產品圖紙
FMS76M-20/20H
FMS97M-20/20H
FMS115M-20/20H
產品參數
Model | FMS76M-20/20H | FMS97M-20/20H | FMS115M-20/20H |
?程(mm) | 20 | 20 | 20 |
負載(Kg) | 1 | 2 | 3 |
分辨率(μm) | 0.2/0.05(H) | 0.2/0.05(H) | 0.2/0.05(H) |
最?步進量(μm) | 0.6/0.3(H) | 0.6/0.3(H) | 0.6/0.3(H) |
單向重復定位精度/保證值(μm) | ±0.5/±0.25(H) | ±0.5/±0.25(H) | ±0.5/±0.25(H) |
單向重復定位精度/典型值(μm) | ±0.25/±0.125(H) | ±0.25/±0.125(H) | ±0.25/±0.125(H) |
雙向重復定位精度/保證值(μm) | ±1/±0.5(H) | ±1/±0.5(H) | ±1/±0.5(H) |
雙向重復定位精度/典型值(μm) | ±0.5/±0.25(H) | ±0.5/±0.25(H) | ±0.5/±0.25(H) |
定位精度/保證值(μm) | ±2/±1(H) | ±2/±1(H) | ±2/±1(H) |
定位精度/典型值(μm) | ±1/±0.5(H) | ±1/±0.5(H) | ±1/±0.5(H) |
最?速度(mm/s) | 100 | 100 | 100 |
直線度(μm) | 5 | 5 | 5 |
平整度(μm) | 5 | 5 | 5 |
持續(xù)推?(N) | 2.74 | 10.08 | 17.92 |
峰值推?(N) | 8.20 | 30.20 | 53.80 |
重量(kg) | 0.58 | 1.1 | 2.0 |
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